ИССЛЕДОВАНИЕ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ АТОМОВ НИОБИЯ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ОБРАЗЦАХ ИЗ МОЛИБДЕНА

Н. А. Нурматов, Ё. С. Эргашов, А. Холов, Г. Р. Отамуродов, И. Х. Хамиджонов

Анотація


Цель работы заключалась в экспериментальном исследовании имплантации ионов ниобия в монокристаллических образцах молибдена (111), (100) и (110); изменения концентрации атомов ниобия, приповерхностной области сплава при нагревах образца; глубину проникновения атомов ниобия в монокристаллической мишени; определение элементного состава поверхности в различных режимах термообработки исследуемых кристаллов.

Ключові слова


имплантация, монокристаллическая мишень

Повний текст:

PDF

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Адреса редакції журналу:
Редакція журналу «НМТ», Запорізький національний технічний університет, 
вул. Жуковського, 64, м. Запоріжжя, 69063, Україна. 
Телефон: 0 (61) 769-82-96 – редакційно-видавничий відділ
E-mail: rvv@zntu.edu.ua

При повному або частковому використаннi матерiалiв посилання на журнал є обов’язковим.