МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ПОЛЯ В ИНДУКЦИОННЫХ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ИСТОЧНИКАХ ПЛАЗМЫ И ЭЛЕКТРОНОВ
Анотація
В приближении однокомпонентной магнитной гидродинамики представлена математическая модель электромагнитного поля в индукционных высокочастотных источниках плазмы и электронов. Уравнения записаны в двумерной форме в представлении об аксиальной симметрии задачи. Перенос импульса описан уравнением вязкости, в котором учтено влияние магнитного поля на диссипативные процессы в разреженной среде. Представлены уравнения для магнитного поля и тока в плазменном объеме и в цепи индуктора. Показана возможность в разреженной среде существования тока в области с размерами, заметно большими, чем глубина магнитного скин-слоя.
Ключові слова
ВЧ-ионизация, источник плазмы, источник электронов.
Повний текст:
PDFПосилання
- Поки немає зовнішніх посилань.
Адреса редакції журналу:
Редакція журналу «ВД», Запорізький національний технічний університет,
вул. Жуковського, 64, м. Запоріжжя, 69063, Україна.
Телефон: 0 (61) 228-16-27, 769-82-69
E-mail: vd@zntu.edu.ua
При повному або частковому використаннi матерiалiв посилання на журнал є обов’язковим.