ПРО КРИТЕРІЇ ЕФЕКТИВНОСТІ УПРАВЛІННЯ ЯКІСТЮ ІНТЕГРОВАНИХ МІКРОСХЕМ НА ЕТАПІ ВИРОБНИЦТВА
Анотація
На етапі виробництва якість інтегрованих мікросхем багато в чому визначається стабільністю технологічних процесів. Для дослідження ефективності виявлення розлагодження технологічних процесів запропоновано використовувати теорію випадкового блукання броунівської частинки. Отримано інтегральні рівняння Фредгольма 2-го роду для оцінки середніх довжин серій вибірок налагодженого чи розлагодженого процесу й імовірності першого виходу траєкторій за нижню межу.
Повний текст:
PDF
Адреса редакції журналу:
Редакція журналу «РІУ», Запорізький національний технічний університет,
вул. Жуковського, 64, м. Запоріжжя, 69063, Україна.
Телефон: 0 (61) 769-82-96 – редакційно-видавничий відділ
E-mail: rvv@zntu.edu.ua
При повному або частковому використаннi матерiалiв посилання на журнал є обов’язковим.